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日 호리바, 한국 반도체 기업 인수

박철응·김태규
기사승인 : 2025-04-08 06:40:41
반도체 웨이퍼 검사장비 전문 기업 에타맥스
인수 비용 300억 전후로 추정

일본 계측기기 제조업체 호리바(HORIBA)가 국내 반도체 웨이퍼 검사장비 기업 에타맥스(EtaMax)를 인수했다는 소식이 전해졌다.

 

지난 7일 현지매체에 따르면 호리바의 한국 자회사는 에타맥스 지분을 전량 인수하는 계약을 4월 3일 최종 마무리했다. 인수 가격은 공개되지 않았지만 30억 엔(약 300억 원) 수준으로 추정된다.

 

▲정현돈 에타맥스 대표(왼쪽)가 호리바 한국 자회사의 단 호리바 사장과 인수 계약을 체결한 후 악수를 나누고 있다. [호리바 제공]

 

호리바는 앞으로 에타맥스 기술을 바탕으로 반도체 검사 시스템 라인업을 확대하고, 반도체 제조 공정의 분석 역량을 강화한다는 목표다.  

 

2008년 설립된 에타맥스는 화합물 반도체 웨이퍼의 균일성과 미세 결함을 분석하는 기술과 관련된 검사장비를 개발하고 제조해 왔다. 

 

이번 인수를 통해 호리바는 자사 고유의 분광 기술과 에타맥스의 소프트웨어 기술 및 현장 경험을 통합함으로써, 고품질 화합물 반도체 생산을 위한 수율 향상과 품질 관리를 동시에 도모할 수 있을 것으로 기대된다.

 

최근 전기차와 인공지능 기술 확산으로 데이터센터 수요가 증가하면서, 차세대 전력 반도체로 주목받는 화합물 반도체의 채택도 가속화되고 있다. 

 

하지만 이들 반도체는 제조 과정에서 웨이퍼 결함으로 인한 수율 손실이 빈번하게 발생하기 때문에, 정밀하고 효율적인 검사 시스템에 대한 수요가 빠르게 늘고 있는 상황이다.


KPI뉴스 / 박철응·김태규 기자 hero@kpinews.kr

 

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